微型真空泵有以下幾種類型:
1. 微型旋轉(zhuǎn)式真空泵:利用旋轉(zhuǎn)葉片的運(yùn)動(dòng)創(chuàng)建真空。
2. 微型離心式真空泵:通過離心力將氣體排出來,以達(dá)到真空狀態(tài)。
3. 微型膜式真空泵:利用膜片的振動(dòng)來吸入和排出氣體。
4. 微型擴(kuò)散式真空泵:利用擴(kuò)散過程使氣體稀釋和排出來。
5. 微型吸附式真空泵:通過吸附物質(zhì)吸附氣體分子來實(shí)現(xiàn)真空。
這些微型真空泵可以根據(jù)不同的應(yīng)用需求進(jìn)行選擇。
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