專利摘要顯示,本申請?zhí)峁┝艘环N單晶爐真空系統(tǒng)及晶體直拉生長設備,其中,單晶爐真空系統(tǒng)包括排氣管組、過濾裝置及真空泵裝置;所述排氣管組的一端與單晶爐的爐底連通;所述排氣管組的另一端與所述過濾裝置的進氣口連通;所述真空泵裝置與所述過濾裝置的出氣口通過真空管道連通;所述真空泵裝置包括多個真空泵,所述多個真空泵通過真空管道串聯(lián)或并聯(lián)。本申請將多個真空泵通過真空管道串聯(lián)或并聯(lián)方式組成真空泵裝置,可以在不改變真空泵性能的情況下,提升真空泵裝置的抽真空性能,實現(xiàn)低爐壓效果,有效降低晶棒的電阻率衰減速率。